MEMS - Micro-Electro-Mechanical System, Sistem terpadu dari perangkat serta Struktur Mekanik serta Elektro-Mekanis, diunitsi memakai teknik fabrikasi mikro. Perangkat MEMs terdiri dari 3 dimensi properti yg Merasakan serta Memanipulasi setiap properti fisik atau kimia.
Komponen Dasar memakai sensor mikro, aktuator mikro serta struktur mikro lainnya, yg dibentuk pada substrat silikon tunggal.
Sistem Mekatronik yg khas, Merupakan Sensor Mikro untuk mencicipi variabel lingkungan tertentu serta mengubah variabel menso Sinyal Listrik.
Sinyal Listrik diproses oleh Mikroelektronika yg dengan mengontrol Aktuator Mikro untuk menghasilkan perubahan yg dibutuhkan dalam lingkungan.
➤ Micro - Small Size, Microfabricated Structures
➤ Electro - Electrical Signal /Control ( In/Out )
➤ Mechanical - Mechanical functionality ( In/Out )
➤ Systems - Structures, Devices, Systems and Control
MEMS disebut sebagai
➤ MST (Microsystems Technology in Europe)
➤ MM (Micromachines in Japan)
MEMS dengan Optik disebut
➤ MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)
Energy Domains
• Thermal (Temperature, Heat and Heat Flow)
• Mechanical (Force, Pressure, Velocity, Acceleration, Position)
• Chemical (Concentration, pH, Reaction rate)
• Magnetic (Field intensity, Flux density, Magnetization)
• Radiant (Intensity, Wavelength, Polarization, Phase)
• Electrical (Voltage, Charge, Current)
IC dianggap sebagai "Otak" dari suatu sistem serta MEMS menambahnya dengan "Senses" serta "Limbs". Elektronik yg dibentuk memakai sirkuit terpadu (IC) teknik pengolahan batch.
MEMS memakai proses "Micromachining" yg kompatibel, selain proses fabrikasi IC, yg secara selektif memisahkan bab dari Wafer Silikon atau menambahkan lapisan struktural gres untuk membentuk Mekanik serta Elektromekanik.
Sistem Merasakan, Mengontrol serta Menggerakkan pada skala mikro, serta berfungsi secara individual /array untuk menghasilkan efek pada Macroscale.
Microsensor mendeteksi perubahan lingkungan sistem dengan mengukur Informasi / Fenomena Mekanik, Termal, Magnetik, Kimia / Elektromagnetik.
Mikroelektronika memproses isu yg ada serta memberi sinyal kepada mikroaktuator untuk bereaksi serta membuat beberapa bentuk perubahan pada lingkungan.
Contoh: Perangkat MEMS yaitu Accelerometer yg dipakai untuk Airbag mobil. Selain komponen Micromachine, termasuk rangkaian pengkondisi sinyal, pengujian diri serta kalibrasi, dengan semua port serta terminal I/O.
Mengapa MEMS
1. Memungkinkan Miniaturisasi. 2. Menawarkan solusi yg tidak sanggup dicapai oleh unit bermesin makro.
misalnya, sensor tekanan kapasitif yg bisa mendeteksi tekanan
dari urutan 1 mTorr mustahil dengan diafragma kapasitif makromesin.
3. Sifat Interdisipliner dari teknologi MEMS serta teknik micromachining.
serta keragaman aplikasinya telah menghasilkan aneka macam perangkat
serta sinergi yg belum pernah ada sebelumnya di bisertag yg sebelumnya
tidak terkait (misalnya biologi-mikroelektronika, optik-mikroelektronika).
4. Memungkinkan sistem elektromekanik yg kompleks untuk diunitsi
memakai teknik fabrikasi batch, mengurangi biaya serta
meningkatkan keandalan.
5. Memungkinkan sistem terintegrasi, yaitu, sensor, aktuator, sirkuit, dll.
Dalam satu paket serta menunjukkan keunggulan keandalan, performa, biaya,
akomodasi penggunaan, dll.
Mengapa MicroMachine
• Meminimalkan penggunaan energi serta material di bisertag manufaktur
• Redunsertasi serta array
• Integrasi dengan elektronik
• Pengurangan anggaran listrik
• Perangkat lebih cepat
• Peningkatan selektivitas serta sensitivitas
• Eksploitasi efek gres melalui pemecahan teori kontinum domain-mikro
• Keuntungan biaya / performa
• Peningkatan reunittifitas (fabrikasi batch)
• Keakuratan serta keandalan yg ditingkatkan
• Minimal invasif (mis. Kamera pil)
Virtual Reality (VR) Sistem
• Utilitas sistem VR terhubung bersahabat dengan cara yg meyakinkan
untuk membuat kembali kehidupan
• Accelerometers serta sensor tingkat sudut) diperlukan
untuk mencapai kredibilitas
• Data akselerometer diubah menso isu posisi melalui integrasi ganda
• Sensor tingkat sudut memilih posisi rotasi dengan mengintegrasikan
tingkat sudut
[ An Introduction to MEMS (56) - PRIME Faraday Partnership
[ Intro to Micro-Electro-Mechanical Systems (11) - Bruce K. Gate
[ Fundamentals of Nano-and MicroEngineering (241) - Sergey
[ Introduction to MEMS (50) - dr. Cristina Bertoni
[ Introduction to MEM System (6) - Juan Pablo Sdenz
[ Micro-Electro-Mechanical-Systems (5) - Songlin Feng
[ The Use of Micro-Electro-Mechanical Systems (5) - Amaury
[ Micro Machining For MEMS (8) - Venkata Ramesh Mamillaa
[ Avionics Knowledge ] - [ The Computer Networking ]
